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　　（1）將石英舟放入濃度為10%25%的氫氟酸進(jìn)行浸泡40min120min后，放入噴淋槽用純水噴淋，噴淋時(shí)間為20min90min；

　?。?）清洗后的干燥用氣體干燥劑吹干；

　?。?）石英舟的飽和將石英舟放入爐溫為800°C900°C的管式擴(kuò)散爐中，通入氧氣和流量為10003000ml/Min三氯氧磷液態(tài)源，其中氧氣和三氯氧磷液態(tài)源的流量比為1:15（4）最后用1030L/Min的氮?dú)饣蛘哐鯕饫鋮s石英舟。